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| Part Number | MFG | Package | D/C |
| ATMEGA16L-8AI | |||
| ATMEGA16L-8AC | Atmel | TQFP44 | 07+ |
| ATMEGA168V-10MU | 09+ | ||
| ATMEGA168V-10AU | 09+ | ||
| ATMEGA16-8AI | atmel | 04+ | |
| ATMEGA164PV-10AU | ATMEL | TQFP44 | 07+ |
| ATMEGA162V-8PI | |||
| ATMEGA162-16AI | |||
| ATMEGA161L-4AI | |||
| ATMEGA16-16AU |